當(dāng)廢氣進(jìn)入等離子體凈化光解機(jī)器設(shè)備,***先通過(guò)等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程,即電子從電場(chǎng)能量,***個(gè)通過(guò)刺激或或原子電離能量轉(zhuǎn)移,獲得能量的或原子,同時(shí)一些電離,并成為活性基團(tuán);然后，這些反應(yīng)基團(tuán)與或原子碰撞，產(chǎn)生穩(wěn)定的產(chǎn)物和熱。

　　然后將部分有機(jī)廢氣通過(guò)分解、分解和催化氧化，分解成無(wú)毒、無(wú)害、無(wú)味的氣體。高能c波段光用于裂解污染氣體的鏈，改變物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，將***污染物裂解氧化成水、二氧化碳等低無(wú)害物質(zhì)。O3強(qiáng)催化氧化劑用于尾氣的催化氧化，能有效殺滅細(xì)菌，將有毒有害物質(zhì)損傷并為低無(wú)害物質(zhì)。在C波段激光刺激催化劑涂層產(chǎn)生活性，加強(qiáng)催化氧化。在分解過(guò)程中，產(chǎn)生高能、高臭氧的UV - UV光束，分解空氣中的氧，產(chǎn)生游離氧，即活性氧。由于游離氧攜帶的正負(fù)電子的不平衡，必須與氧結(jié)合才能產(chǎn)生臭氧。UV+O2 O-+O*(活性氧)O+O2 O3(臭氧)，眾所周知臭氧對(duì)有機(jī)物有較強(qiáng)的氧化作用，對(duì)惡臭氣體和其他刺激性氣味有較強(qiáng)的清除作用。O3也是一種強(qiáng)催化氧化劑，用于尾氣催化氧化，裂解惡臭氣體中細(xì)菌的鍵，細(xì)菌的核酸(DNA)，然后通過(guò)臭氧氧化反應(yīng)，完全脫臭殺菌。

　　低溫等離子體技術(shù)在外加電場(chǎng)的作用下，利用介質(zhì)放電產(chǎn)生的***量載能電子轟擊污染物。***先，在等離子體產(chǎn)生的過(guò)程中，高頻放電產(chǎn)生的瞬時(shí)高能足以打開(kāi)一些有害氣體的化學(xué)能，將其分解成簡(jiǎn)單的原子或無(wú)害的。其次，等離子體中含有***量的高能電子、正離子和負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子以及氧化性強(qiáng)的基。這些活性粒子與一些氣味碰撞結(jié)合，使氣味在電場(chǎng)作用下處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)氣味獲得的能量***于其鍵能的結(jié)合能時(shí)，氣味的化學(xué)鍵就會(huì)分解，直接分解成簡(jiǎn)單的原子或由單個(gè)原子組成的無(wú)害氣體。同時(shí)，***量的·OH、·HO2、·O等活性基和高氧化性的O3會(huì)與有害氣體發(fā)生反應(yīng)，***終生成無(wú)害的產(chǎn)物。它可以將復(fù)雜的***污染物為簡(jiǎn)單的小安全物質(zhì)或?qū)⒂卸居泻ξ镔|(zhì)為無(wú)毒物質(zhì)，使污染物得到降解和去除。